根据《政府采购需求管理办法》、《福建省财政厅关于进一步做好政府采购进口产品审核工作的通知》等有关规定，我单位于2023年10月30日发布关于拟采购的“聚焦离子束场发射扫描电镜（FIB)、傅里叶变换红外光谱显微成像系统设备”需求调研论证意见公示，公示期内未收到相关单位或潜在供应商对论证意见的书面意见，现对“聚焦离子束场发射扫描电镜（FIB)、傅里叶变换红外光谱显微成像系统设备”采购需求进行公示，如有符合技术参数要求的国产产品供应商请在公示期限内告知我单位，有关事宜公示如下：

一、采购标的

聚焦离子束场发射扫描电镜（FIB)、傅里叶变换红外光谱显微成像系统设备各一套。

二、 采购进口产品技术参数

 

1、聚焦离子束场发射扫描电镜（FIB)技术参数：

1.1 产品应能满足采购人拟提供的工作条件

1） 电源：100-240V / （50/60）Hz（+/-1%）

2） 功率：<3kvA (电镜主机部分)

3） 环境温度：20°C (+/- 3°C)

4） 相对湿度：< 80% RH

1.2 电子束系统

1） 电子枪类型：肖特基场发射灯丝，要求电子枪安装简单，自动烘烤、自动启动无需机械合轴

2） 电子束分辨率： 在最佳工作距离下≤ 1.0nm @ 15kV；≤ 1.4nm @ 1kV；1.2nm@1kV (BD)或更优

3） 束交叉点工作距离：7 mm 或更优

4） 加速电压：200V - 30kV （选配减速功能时 20eV-30keV）

5） 束流强度达到或优于：1pA-400nA，束流连续可调，自动光阑，带加热自清洁功能。

6） 束流稳定性：每 10 小时 ≤ 0.4%

7） 双物镜系统包括电磁透镜和静电透镜，无漏磁

1.3 离子束系统

1） 离子源种类：镓液态 (Ga) 离子源

2） 离子束交叉点分辨率：≤ 3nm @ 30kV；

3） 加速电压：500V – 30kV 或更优

4） 束流强度：1.5pA – 65nA 或更优

5）离子源寿命：≥ 1000小时

6）加工精度：单次切割厚度可控制在3nm，无需其他辅助软件来控制精度。

1.4 辅助气体注入系统：

1） 拥有独立的分离式气体注入系统，各气路间可独立操作和更换，

2） 具备独立的W、C 两路气体沉积系统，可在离子束、电子束诱导下进行W、C 沉积 ；

3）可增加至4种气体注入系统，拥有10种以上备选过程方案；

4）具备束流测量装置；

5）具备实时观察离子束加工的监控功能；

1.5 样品室和样品台

1）五轴马达驱动全对中样品台

2） 移动范围：X ≥100mm，Y ≥100mm (重复精度小于 2 微米)

3） Z 方向移动范围 ≥60mm，可绕 Z 轴旋转任意角度：360 度

4） 倾斜角度范围： -15°到 +90°

5） 样品室内直径 ≥370mm；≥20个附件/ 探测器接口；

6）电子束和离子束夹角：52°；

7） 具备原厂非第三方的纳米机械手，支持移动和旋转功能，控制程序与双束控制软件集成在一起，与电镜实现一体化操作。

8） 具备原厂的液氮制冷台，可控制冷温度最低可低于-180℃，支持 360°旋转和-15°~+55°倾转或更优，所有操作由电镜软件直接控制，无需额外的软件。

1.6 探测器

1） 样品仓内高真空二次电子探测器ETD；

2）极靴内高灵敏度背散射电子探测器T1（Inlens BSE）；

3）极靴内探测器二次电子探测器T2（Inlens SE）；

4）极靴内高位电子探测器T3，可用于电位衬度观察，分辨胶粘剂和导电剂；

5）配备电镜原厂扫描透射探测器，11分割STEM探测器，具有明场像BF，四个不同固体角度的暗场像DF1，DF2，DF3，DF4和六个扇形分割的高角度环形暗场像HAADF；可以应对复杂样品的原子序数衬度和电子通道衬度等；

6）样品室红外 CCD 相机；

7）样品仓内导航光学摄像头（Nav-CAM）；

1.7 EDS 系统

1） 具备 EDS 能谱探测器，探测器晶体有效面积不小于 60mm2

2） 具备 EDS系统专用软件及工作站

1.8 真空系统

1） 无油机械泵，涡轮分子泵，和两个离子泵组成

2） 样品室真空度：高真空：< 6.3e-4 Pa (连续 72 小时抽真空后)

1.9电脑工作站及控制软件功能

1） Windows 10操作系统，64位图形用户界面，键盘，鼠标及用户界面；

2）图像显示：24” LCD显示器, SVGA 1900 x 1200；

3）图像处理器：驻留时间0.025 到25000 微秒/pixel，最高像素：65000x65000像素，文件格式：TIFF (8, 16 or 24位)，BMP或JPEG格式，单幅或4幅显示；

4）自带16位图像生成器；

5）具备程序制定、改造软件，能控制镜筒，探测器，样品台等的运作模式。

6）智能扫描功能；

7）漂移补偿帧积分功能DCFI；

8）蒙太奇导航功能；

1.10 高级应用软件

1） 自动 TEM 样品制备软件；电镜观察和机械手控制由同一电脑同一软件完成，可边操纵边观察，能实现切割样品自动提取功能；全自动样品制备包括：自动切割，自动提取，自动焊接和自动减薄等全部功能，实现全自动制备TEM超薄样品和高空间分辨率TKD样品。

2） 自动连续切片和观测软件；

3） 自动大范围拍摄、拼接软件；配备电镜自动拼图和Correlative Workflow软件，可与TEM透射电镜实现相同区域同一样品位置Correlative显示功能；能对离子束加工横截面的相同位置实现EDS mapping。  

4） 纳米图形加工软件；

5） 自动可编程软件；

1.11附件

1） 包含设备配套的空压机和水冷机

2） 包含 UPS 稳压不间断电源，容量 10kVA，2小时

3）备用场发射灯丝。

1.12主要配置及附属设备

冷冻聚焦离子束双束电子显微镜1台，包括：

1）主机系统，1套；

2）电镜控制系统，1套；

3）样品室红外CCD相机，1套；

4）探测器，1套，包括：样品仓内高真空二次电子探测器ETD；极靴内高灵敏度背散射电子探测器T1（Inlens BSE）；极靴内探测器二次电子探测器T2（Inlens SE）；极靴内高位电子探测器T3；

5）扫描透射探测器（11分割STEM），1套；

6）无油真空系统 ，1套；

7）碳及钨沉积气体，1套；

8）双束电镜多功能样品座，1套；

9）能谱仪，1套；

10）高级应用软件，1套，包括：自动 TEM 样品制备软件，自动连续切片和观测软件，自动大范围拍摄、拼接软件。

11） 辅助设备：空压机，1套；冷却循环水机，1套；

1.2.2附属设备及备品备件

本品无耗材，无需备品备件，每年除电费外无其他消耗，除仪器故障外无其他常态性消耗。

2、 傅里叶变换红外光谱显微成像系统技术参数：

2.1.工作条件及用途

2.1.1 工作条件

    电源: 220V±10%, 50HZ

    室温: 15-35°C，在4－35℃也可正常工作

    湿度:  < 70％

2. 1.2 用途

   用于常规及微区非金属材料的分析，进而为非均匀、共混的非金属材料及复合材料的鉴定及定量分析提供强有力的手段

 

2.2技术参数要求

1）、干涉仪：采用三维激光控制的高光通量自动调整和高速动态准直(调整频率≥13万次/秒)DSP电磁驱动平面镜干涉仪，非空气轴承。具有振动补偿和温度补偿功能，具自动调整功能，无需任何人工调整，光路永久准直，确保仪器长期稳定。

2）、光谱范围≥7800-450 cm^-1。

3）、显微镜检测器：同时安装三个独立的检测器，软件控制自动切换：

4）、小于50 µm样品专用的MCT检测器；

5）、专为显微镜优化设计的室温DTGS检测器；

6）、阵列MCT检测器。

7）、红外显微镜信噪比：≥25,000:1（MCT-A检测器，4 cm^-1光谱分辨率，2分钟采集）

8）、全自动化设计：软件控制调节光阑，“全视”设计；全自动切换反射/透射模式；全自动操作透射聚焦和定位；全自动操作反射聚焦；软件控制独立反射、透射照明。

9）、空间分辨率：10 μm以下（ATR分辨率小于3μm）。

10）、自动平台：配置快速断路锁定功能的 2" x 5" 高精度自动平台。

11）、具备超快成像能力，1.2 x 1.2 mm区域，≤10步/秒，16 cm^-1分辨率，单点MCT采集时间≤4.5分钟，阵列检测器采集时间≤20秒钟。

12)、物镜：15倍物镜和15倍聚焦镜，N.A.值不小于0.7。

13)、系统性能校正：包括可安装在样品台上的用于透射、反射和ATR模式的NIS追溯标准品，方法符合ASTM E1421。

14)、嵌入式Ge晶体ATR物镜，光通量≥ 50%，采集与观测同时进行，无需升降晶体；带有压力显示全自动操作ATR接触数字设计。

15)、液氮保持时间≥18小时。

16)、图像视屏观察可双屏显示图像和谱图分析，且无限放大视图。

17)、内置聚苯乙烯可追溯验证轮，确保国际认可的参考标准的可追溯性。

18)、软件和谱图库：

18.1、驱动软件：包括红外主机及相关部件的驱动及控制软件，可实现光路、检测器等的自动准直；

18.2、红外专用分析软件：主要功能包括实时数据采集，支持实验记录本和各种实验报告格式，谱图预览，可支持智能型附件，光谱质量检查，光学台状态检查，全方位多媒体系统诊断，快捷工具图标，QC 比对功能，谱库管理，谱图处理功能，自动水蒸气和二氧化碳校正，多种数据格式转换，多种编辑功能（例如剪贴、复制、粘贴），各种强大的数据处理功能（包括基线校正，直线生成，建空白区，标峰，差谱，平滑，光谱转换，ATR校正，K-K校正，曲线拟合，解卷积，求导等多项数学处理功能）；具谱图解析专家智能帮助系统及自建谱库功能等；

18.3、多组分谱库检索，可自动识别混合物样品的成分，避免传统检索和差减过程中的繁琐处理和人为误差。包含≥15万张以上高清谱库。

19)、一体式体视显微镜

19.1、显示像素≥200 万(彩色高清)  

19.2、接口模式：HDMI

19.3、显示屏≥11.6 英寸EDP 高清屏  

19.4、CCD芯片≤1/2.8 英寸

19.5、光学镜头：0.25X~1.8X 平行光  

19.6、放大倍数≥10X~70X

19.7、视场范围≥22mmX12mm  

19.8、照明：一体式 LED 环形光源

19.9、工作距离：100mm

20)、电脑工作站

（1）品牌商用PC电脑，正版操作系统，工作站操作软件兼容，四核及以上处理器，内存≥16GB，≥1TB硬盘，≥ 25″LCD显示器。

 

2.3.主要配置及附属设备

1) 红外主机1台

2 )显微成像部分及信号线1套

3) 成像面扫描ATR附件1个，锗晶体（1100μm1100μm），一次压样实现一个面的红外Imaging测试；

4)显微采样工具包，包含透反射支架及背景片等1套

5)压片片架微调器1套

6) 系统控制及数据处理软件1套

7) 变温漫反射附件（含冷却循环水机） 1套

8)红外光谱MCT检测器 1套

9)微塑料分析软件 1套

10) 复合材料分析软件 1套

11)附属设备及备品备件

12 ) 电脑，打印机 各1套

13)  UPS 1套

14)   电子干燥剂箱 1台

15)   除湿机 2台

三、公示期限（五个工作日）

2023年 11月 6日至2023年 11月 10日，如有符合技术参数要求的国产产品供应商可以在公示期限内将书面意见（包括异议具体事项和内容、明确的证明材料、联系人姓名和联系方式等）原件以及相关佐证材料加盖供应商公章送至我单位，潜在供应商未在采购需求公示截止时间前递交书面材料的或递交了书面材料但未提供明确证明材料的，将视其意见无效，无法满足采购需求。

四、联系方式

联系人：周老师

联系电话：0595-82660813

联系地址：晋江市金井镇福州大学科教园区